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描述：Sekidenko OR4000T 高溫計Advanced Energy®的 OR4000T多通道光纖測溫儀(OFT)可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各種半導體工藝過(guò)程，應用于半導體硅片，外延，晶圓鍍膜等各種工藝的高精度測溫;OR4000T型具備多通道能力，支持高達2kHz的讀取速率，符合半導體應用中極為嚴格的要求。其采用模塊化設計，可快速量身定制。
| 品牌 | Advanced Energy/優(yōu)儀 | 價(jià)格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 電子,交通,航天,汽車(chē),電氣 |
優(yōu)點(diǎn):
提高可重復性并顯著(zhù)減小誤差提高生產(chǎn)率、產(chǎn)量和生產(chǎn)能力
·提高多個(gè)腔室和基材的穩定性和可靠性
特點(diǎn):
·主動(dòng)輻射率檢測和補償
溫度和輻射率讀取速率快
·模塊化的結構具有高靈活性
·全套I/O和外部觸發(fā)器/同步組件
技術(shù)參數：
| 概述: | 多通道，高性能，測量速度高達2kHz |
| 通道配置: | 1-4通道，帶可選/固定發(fā)射系數，每個(gè)通道可單獨配置 |
| 測溫范圍: | 50-3500°C |
| 實(shí)時(shí)發(fā)射系數范圍: | 無(wú) |
| 測量波長(cháng): | UV to 2300 nm |
| 讀取速率: | 高達2kHz |
| 測量精度: | ±1.5℃ |
| 重復精度: | ±0.1℃℃，正常情況下 |
| 分辨率: | 0.001℃C |
| 顯示: | 帶鍵盤(pán)輸入內置，4x21LCD屏， |
| 數據I/O: | RS-232,RS-422/486, and Ethernet |
| 模擬輸出: | 0-10V或4-21mA |
| 控制接口: | 外部觸發(fā)輸入，同步輸出，高低報警 |
| 電源: | 交流:90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz直流:24V DC |
| 環(huán)境參數: | 5-40℃，非冷凝 |
| 物理尺寸: | 8.6 cm (H)x 15.2 cm (W) x 21.8 cm (D) |
| 重量: | 2.0kg |
| 安裝: | 底部M3X0.75螺孔 |
| 采樣響應時(shí)間: | 2kHz采樣速率時(shí)<2ms |
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